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Study on photoresist materials and its removal for semiconductor manufacturing / Atsushi Otake
(博士学位論文 ; 博生甲第160号)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 大竹, 敦 <オオタケ, アツシ> |
| 出版者 | 小金井 : 東京農工大学工学府 |
| 出版年 | 2009.3授与 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:半導体製造におけるフォトレジスト材料及びその剥離に関する研究 |
|---|---|
| 大きさ | 98p ; 31cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | 所属: 生物システム応用科学 荻野賢司研究室 |
| 書誌ID | 1000221060 |