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Thermodynamic study of new vapor phase epitaxy systems of the group 3 nitrides / Jun Kikuchi
(博士学位論文 ; 博工甲第500号)

データ種別 図書
著者標目 菊地, 潤 <キクチ, ジュン>
出版者 小金井 : 東京農工大学大学院工学府応用化学専攻
出版年 2007.3授与

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小金井・学位論文
090/K500 60565558

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別書名 異なりアクセスタイトル:熱力学解析を用いた新しい3族窒化物気相成長法の探索
異なりアクセスタイトル:Thermodynamic study of new vapor phase epitaxy systems of the group III nitrides
大きさ 132p ; 31cm
本文言語 英語
一般注記 所属: 応用化学 纐纈明伯研究室
書誌ID 1000176532