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A Study on marangoni convection in molten silicon under oxygen partial pressure during czochralski crystal growth / Takeshi Azami
(博士学位論文 ; 博工乙第67号)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 莇, 丈史 <アザミ, タケシ> |
| 出版者 | 小金井 : 東京農工大学工学部 |
| 出版年 | 2002.9授与 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:チョクラルスキー結晶成長時のシリコン融液の酸素分圧下におけるマランゴニ対流に関する研究 |
|---|---|
| 大きさ | vi, 133p ; 30cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | 所属: 工学研究科 齋藤忠研究室 |
| 書誌ID | 1000138515 |