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イオン ビーム コタイ ヒョウメン ソウゴ サヨウ ニ オケル リョウシ トンネル カテイ ノ ケンキュウ レイキ シタ スパッタリング リュウシ ト コタイ ヒョウメン トノ ソウゴ サヨウ
イオンビーム・固体表面相互作用における量子トンネル過程の研究 : 励起したスパッタリング粒子と固体表面との相互作用 / 二村智昭著
(博士学位論文 ; 博工甲第312号)

データ種別 図書
著者標目 二村, 智昭 <ニムラ, トモアキ>
出版者 小金井 : 東京農工大学大学院工学研究科
出版年 2002.3授与

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小金井・学位論文
090/K312 60368928

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別書名 異なりアクセスタイトル:A study on quantum-tunneling process in ion-surface interactions : Interaction of sputtered excited atoms with surfaces
大きさ 105p ; 31cm
本文言語 日本語
一般注記 所属: 電子情報工学 鶴淵誠二研究室
書誌ID 1000120482