イオン ビーム コタイ ヒョウメン ソウゴ サヨウ ニ オケル リョウシ トンネル カテイ ノ ケンキュウ レイキ シタ スパッタリング リュウシ ト コタイ ヒョウメン トノ ソウゴ サヨウ
イオンビーム・固体表面相互作用における量子トンネル過程の研究 : 励起したスパッタリング粒子と固体表面との相互作用 / 二村智昭著
(博士学位論文 ; 博工甲第312号)
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | 二村, 智昭 <ニムラ, トモアキ> |
出版者 | 小金井 : 東京農工大学大学院工学研究科 |
出版年 | 2002.3授与 |
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別書名 | 異なりアクセスタイトル:A study on quantum-tunneling process in ion-surface interactions : Interaction of sputtered excited atoms with surfaces |
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大きさ | 105p ; 31cm |
本文言語 | 日本語 |
一般注記 | 所属: 電子情報工学 鶴淵誠二研究室 |
書誌ID | 1000120482 |