Mendeley出力
コウセイノウ コウガクシキ センサ ニ カンスル ケンキュウ : コウセイノウ エンコーダ ニ ヨル ハンドウタイ ケンサ ソウチ ノ コウセイノウカ
高性能光学式センサに関する研究 : 高性能エンコーダによる半導体検査装置の高性能化
(博士学位論文 ; 博工甲第282号)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 松添, 雄二 <マツゾエ, ユウジ> |
| 出版者 | 小金井 : 東京農工大学大学院工学研究科 |
| 出版年 | 2001.3授与 |
書誌詳細を非表示
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:Study on high performance optical sensor : High-performance semiconductor inspection equipment by high performance encoder |
|---|---|
| 大きさ | iv, 139p ; 31cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 所属: 機械システム工学 吉澤徹研究室 |
| 書誌ID | 1000109442 |