Mendeley出力
チョウ LSI ヨウ キンゾク ハイセン ノ タメ ノ アモルフアス バリア メタル ノ ケンキュウ
超LSI用金属配線のためのアモルファスバリアメタルの研究 / 飯島匡
(博士学位論文 ; 博工乙第52号)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 飯島,匡 <イイジマ, タダシ> |
| 出版者 | 小金井 : 東京農工大学工学部 |
| 出版年 | 2000.12授与 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:Study of amorphous barrier metals for ULSI interconnections |
|---|---|
| 大きさ | 106p ; 30cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 所属: 電子情報工学 佐藤勝昭研究室 |
| 書誌ID | 1000104573 |