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イオンカ ジョウチャク ホウ ニ ヨル ダイヤモンドジョウ カーボン ハクマク ノ サクセイ ト ブッセイ
イオン化蒸着法によるダイヤモンド状カーボン薄膜の作製と物性 / 毛利敏男
(博士学位論文 ; 乙第44号)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 毛利, 敏男 <モウリ, トシオ> |
| 出版者 | 小金井 : 東京農工大学工学部 |
| 出版年 | 1999.3授与 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:Research on diamond-like carbon films and its properties formed by ionized vapor deposition method |
|---|---|
| 大きさ | iii, 122p ; 31cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 所属: 電子情報工学 斎藤忠研究室 |
| 書誌ID | 1000093166 |