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クラスター イオン ビーム ホウ オ モチイタ CuIn SxSe 1-X 2 カゴウブツ ハンドウタイ ノ テイオン セイマク ニ カンスル ケンキュウ
クラスターイオンビーム法を用いたCuIn(SxSe1-x)2化合物半導体の低温成膜に関する研究 / 佐野寛幸著
(博士学位論文 ; 乙第47号)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 佐野, 寛幸 <サノ, ヒロユキ> |
| 出版者 | 小金井 : 東京農工大学工学部 |
| 出版年 | 1999.6授与 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:Study of low temperature deposition of CuIn(SxSel-x)2 semiconductors using ionized cluster beam technique |
|---|---|
| 大きさ | v, 170p ; 31cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 所属: 電子情報工学 佐藤勝昭研究室 |
| 書誌ID | 1000093160 |