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Characterization of non-uniform multilayer semiconductor structures by automated spectroscopic ellipsometry / Magdi Ezzat Mohamed El-Ghazzawi
(博士学位論文 ; 甲第131号)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | El-ghazzawi, Magdi Ezzat Mohamed <マグデ エザト エリガザウィ> |
| 出版者 | 小金井 : 東京農工大学工学部 |
| 出版年 | 1996.3授与 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:自動分光エリプソメトリーによる不均一多層半導体構造の評価 |
|---|---|
| 大きさ | xxxii, 183 p. ; 30 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | 所属: 電子情報工学 齋藤忠研究室 |
| 書誌ID | 1000066626 |