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In situ optical monitoring and control of metalorganic vapor phase epitaxy / Yasuyuki Kobayashi
(博士学位論文 ; 乙第20号)

データ種別 図書
著者標目 小林, 康之 <コバヤシ, ヤスユキ>
出版者 小金井 : 東京農工大学工学部
出版年 1996.3授与

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小金井・学位論文
090/R20 60101388

禁帯出

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別書名 異なりアクセスタイトル:有機金属気相成長の光学的その場観察と制御
大きさ 99p ; 31cm
本文言語 英語
一般注記 所属: 物質生物工学
書誌ID 1000065577
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