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The chemistry of metal CVD / edited by Toivo T. Kodas and Mark J. Hampden-Smith
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Kodas, Toivo T. (Toivo Tarmo), 1958- Hampden-Smith, Mark J. |
| 出版者 | Weinheim ; Tokyo : VCH |
| 出版年 | c1994 |
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| 巻次 | ISBN:3527290710 |
|---|---|
| 大きさ | xxiv, 530 p. : ill. ; 25 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references |
| 件 名 | LCSH:Electronic circuits -- Design and construction
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LCSH:Chemical vapor deposition LCSH:Metallic films |
| 分 類 | LCC:TK7867 DC20:621.3815/2 |
| 書誌ID | 1000059685 |
| ISBN | 3527290710 |
| NCID | BA24145974 |