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Integration of ferroelectric and piezoelectric thin films : concepts and applications for microsystems / edited by Emmanuel Defaÿ
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Defaÿ, Emmanuel |
| 出版者 | London : ISTE |
| 出版者 | Hoboken, NJ : Wiley |
| 出版年 | 2011 |
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| 巻次 | ISBN:9781848212398 ; XISBN:1848212399 |
|---|---|
| 大きさ | xviii, 404 p. : ill. ; 24 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 件 名 | LCSH:Piezoelectric devices -- Materials
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LCSH:Ferroelectric thin films LCSH:Miniature electronic equipment -- Materials 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7872.P54 DC22:621.3815/2 |
| 書誌ID | 1000220891 |
| ISBN | 9781848212398 |
| NCID | BB12918810 |