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スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ
スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原粲著

データ種別	図書
著者標目	金原, 粲(1933-) <キンバラ, アキラ>
出版者	東京 : 東京大学出版会
出版年	1984.3

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