Mendeley出力
Handbook of advanced plasma processing techniques / R.J. Shul, S.J. Pearton (eds.)
(Physics and astronomy online library)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Shul, Randy J. Pearton, S. J. |
| 出版者 | Berlin : Springer |
| 出版年 | c2000 |
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| 巻次 | ISBN:3540667725 |
|---|---|
| 大きさ | xvi, 653 p. : ill. ; 25 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 書誌ID | 1000101448 |
| ISBN | 3540667725 |
| NCID | BA48324956 |