この文献を取り寄せる

このページのリンク

EUV コウゲン ノ カイハツ ト オウヨウ
EUV光源の開発と応用 / 豊田浩一, 岡崎信次監修
(CMCテクニカルライブラリー ; 450 . エレクトロニクスシリーズ)

データ種別 図書
著者標目 豊田, 浩一 <トヨダ, コウイチ>
岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ>
出版者 東京 : シーエムシー出版
出版年 2013.3

所蔵情報を非表示

小金井・閲覧室一般書
549.95 60823238
9784781307091

書誌詳細を非表示

別書名 標題紙タイトル:Development and application of extreme ultraviolet light source
普及版
巻次 ISBN:9784781307091 ; PRICE:4400円+税
大きさ vi, 273p : 挿図 ; 26cm
本文言語 日本語
一般注記 「EUV光源の開発と応用」(2007年刊)の普及版
文献: 各章末
件 名 BSH:紫外線
BSH:リソグラフィー
分 類 NDC8:549.95
NDC9:549.95
書誌ID 1000220742
ISBN 9784781307091
NCID BB12085089

 類似資料