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エキシン リソグラフィ ノ プロセス ト ザイリョウ
液浸リソグラフィのプロセスと材料 / 東木達彦監修
(CMCテクニカルライブラリー ; 432 . エレクトロニクスシリーズ)

データ種別 図書
著者標目 東木, 達彦 <ヒガシキ,タツヒコ>
出版者 東京 : シーエムシー出版
出版年 2012.8

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小金井・閲覧室一般書
549.7 60804847
9784781305509

書誌詳細を非表示

別書名 標題紙タイトル:Process and Ingredient of Immersion Lithography
普及版
巻次 ISBN:9784781305509 ; PRICE:3800円+税
大きさ v, 243p ; 26cm
本文言語 日本語
一般注記 「液浸リソグラフィのプロセスと材料」(2006年刊)の普及版
件 名 BSH:リソグラフィー
分 類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
書誌ID 1000217647
ISBN 9784781305509
NCID BB09913364

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