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ハンドウタイ セイゾウ プロセス ト ザイリョウ
半導体製造プロセスと材料 / 大見忠弘監修
(CMCテクニカルライブラリー ; 205)

データ種別 図書
著者標目 大見, 忠弘(1939-) <オオミ, タダヒロ>
出版者 東京 : シーエムシー出版
出版年 2005.10

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小金井・閲覧室一般書
549.8 60506097
4882318660

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別書名 標題紙タイトル:Process and materials of semiconductor equipment
原タイトル:新しい半導体製造プロセスと材料
普及版
巻次 ISBN:4882318660
大きさ v, 274p ; 21cm
本文言語 日本語
一般注記 初版のタイトル: 新しい半導体製造プロセスと材料
参考文献あり
件 名 BSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 1000167789
ISBN 4882318660
NCID BA7423115X

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