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VLSI セイゾウ ギジュツ : サブミクロン ジダイ ニ ムカウ サイセンタン MOS ギジュツ ノ スベテ
VLSI製造技術 : サブミクロン時代に向かう最先端MOS技術のすべて / 徳山巍, 橋本哲一編著

データ種別 図書
著者標目 徳山, 巍(1929-) 編著 <トクヤマ, タカシ>
橋本, 哲一(1940-) 編著 <ハシモト, ノリカズ>
出版者 東京 : 日経BP社
出版年 1989.1

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小金井・別置図書室
549.7 60072781
4822270556

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別書名 奥付タイトル:VLSI製造技術
巻次 ISBN:4822270556 ; PRICE:6800円
大きさ vi, 325p ; 27cm
本文言語 日本語
一般注記 各章末: 参考文献
索引: p323-326
件 名 NDLSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDLC:ND386
書誌ID 1000059039
ISBN 4822270556
NCID BN03227289

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