OPAC

VLSI ノハクマクギジュツ
VLSIの薄膜技術 / 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
(電子材料シリーズ)

データ種別	図書
著者標目	伊藤, 隆司 <イトウ, タカシ> 石川, 元 <イシカワ, ハジメ> 中村, 宏昭 <ナカムラ, ヒロアキ>
出版者	東京 : 丸善
出版年	1986.9

配架場所	巻　次	請求記号	登録番号	状　態	コメント	ISBN	予約	利用注記
小金井・閲覧室一般書		549.7	50100497			4621031120	予約		予約
小金井・別置図書室		549.7	60475367			4621031120	予約		予約

巻次	ISBN:4621031120 ; PRICE:4017円
大きさ	xii, 250p ; 22cm
本文言語	日本語
一般注記	各章末:文献
件　名	BSH:集積回路 BSH:薄膜 NDLSH:集積回路 NDLSH:薄膜
分　類	NDC8:549.7 NDC7:549.8 NDLC:ND386
書誌ID	1000011627
ISBN	4621031120
NCID	BN00435789