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Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nanomaterials and MEMS / edited by Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera

データ種別 図書
著者標目 Wasa, Kiyotaka
Kanno, Isaku
Kotera, Hidetoshi
出版者 Amsterdam ; Boston : Elsevier/William Andrew
出版年 2012

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小金井・閲覧室一般書
549.8 60787244
9781437734836

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2nd ed
巻次 ISBN:9781437734836
大きさ xii, 644 p. : ill. ; 24 cm
本文言語 英語
一般注記 Includes bibliographical references and index
件 名 LCSH:Cathode sputtering (Plating process) -- Handbooks, manuals, etc  全ての件名で検索
LCSH:Thin films -- Handbooks, manuals, etc  全ての件名で検索
分 類 LCC:TS695
書誌ID 1000220889
ISBN 9781437734836
NCID BB16247557

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