Thin film and depth profile analysis / edited by H. Oechsner ; with contributions by H.-W. Etzkorn ... [et al.]
(Topics in current physics ; 37)
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | Oechsner, H. (Hans), 1934- Etzkorn, H. W. |
出版者 | Berlin ; New York ; Tokyo : Springer-Verlag |
出版年 | 1984 |
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巻次 | : us ; ISBN:0387133208 : gw ; ISBN:3540133208 |
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大きさ | xi, 205 p. : ill. ; 25 cm |
本文言語 | 英語 |
一般注記 | Includes bibliographical references and index |
件 名 | LCSH:Thin films -- Surfaces
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LCSH:Surface chemistry LCSH:Sputtering (Physics) |
分 類 | LCC:QC176.84.S93 DC19:530.4/1 |
書誌ID | 1000005377 |
ISBN | 0387133208 |
NCID | BA03990434 |