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Thin film and depth profile analysis / edited by H. Oechsner ; with contributions by H.-W. Etzkorn ... [et al.]
(Topics in current physics ; 37)

データ種別 図書
著者標目 Oechsner, H. (Hans), 1934-
Etzkorn, H. W.
出版者 Berlin ; New York ; Tokyo : Springer-Verlag
出版年 1984

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小金井・別置図書室
431 50301381


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巻次 : us ; ISBN:0387133208
: gw ; ISBN:3540133208
大きさ xi, 205 p. : ill. ; 25 cm
本文言語 英語
一般注記 Includes bibliographical references and index
件 名 LCSH:Thin films -- Surfaces  全ての件名で検索
LCSH:Surface chemistry
LCSH:Sputtering (Physics)
分 類 LCC:QC176.84.S93
DC19:530.4/1
書誌ID 1000005377
ISBN 0387133208
NCID BA03990434

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