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Handbook of semiconductor manufacturing technology / edited by Robert Doering, Yoshio Nishi
| データ種別 | 電子ブック |
|---|---|
| 著者標目 | Doering, Robert, 1946- Nishi, Yoshio, 1940- NetLibrary, Inc |
| 出版者 | Boca Raton : CRC Press |
| 出版年 | c2008 |
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| 版 | 2nd ed |
|---|---|
| 巻次 | electronic bk. ; ISBN:9781420017663 electronic bk. ; ISBN:1420017667 |
| 大きさ | 1 v. (various pagings) : ill. ; 27 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index Electronic reproduction. Boulder, Colo. : NetLibrary, 2007. Available via World Wide Web. Access may be limited to NetLibrary affiliated libraries |
| 件 名 | LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Handbooks, manuals, etc
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LCSH:Semiconductor industry -- Handbooks, manuals, etc 全ての件名で検索 FREE:Electronic books |
| 分 類 | DC22:621.3815/2 |
| 書誌ID | OB00000111 |
| ISBN | 9781420017663 |
| NCID | LB40000303 |