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フォトマスク : デンシ ブヒン セイゾウ ノ キカン ギジュツ
フォトマスク : 電子部品製造の基幹技術 / 田邉功, 竹花洋一, 法元盛久共著

データ種別 図書
著者標目 田辺, 功(1937-) <タナベ, イサオ>
竹花, 洋一 <タケハナ, ヨウイチ>
法元, 盛久 <ホウガ, モリヒサ>
出版者 東京 : 東京電機大学出版局
出版年 2011.4

所蔵情報を非表示

小金井・閲覧室一般書
549.7 60740853
9784501328207
工・機械・岩見健太郎
549.7 60852316
9784501328207

書誌詳細を非表示

別書名 標題紙タイトル:Photomask technology
巻次 ISBN:9784501328207 ; PRICE:3800円+税
大きさ 323p, 図版2枚 ; 21cm
本文言語 日本語
一般注記 参考文献: 各章末
件 名 BSH:リソグラフィー
分 類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
書誌ID 1000209490
ISBN 9784501328207
NCID BB05599166

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