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チョウヘイレツ デンシ ビーム ビョウガ ソウチ ノ カイハツ : シュウセキ カイロ ノ ディジタル ファブリケーション オ メザシテ
超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して / 江刺正喜 [ほか] 著
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 江刺, 正喜(1949-) <エサシ, マサヨシ> 宮口, 裕 <ミヤグチ, ヒロシ> 小島, 明 <コジマ, アキラ> 池上, 尚克 <イケガミ, ナオカツ> 越田, 信義 <コシダ, ノブヨシ> 菅田, 正徳 <スガタ, マサノリ> 大井, 英之 <オオイ, ヒデユキ> |
| 出版者 | 仙台 : 東北大学出版会 |
| 出版年 | 2018.6 |
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| 別書名 | その他のタイトル:Development of massive parallel electron beam write system : aiming at digital fabrication of integrated circuits 異なりアクセスタイトル:超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して |
|---|---|
| 巻次 | ISBN:9784861632969 ; PRICE:3000円+税 |
| 大きさ | vii, 228p : 挿図 ; 21cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | その他のタイトルは標題紙裏による その他の著者: 宮口裕, 小島明, 池上尚克, 越田信義, 菅田正徳, 大井英之 関係発表文献一覧: p217-223 参考文献: 各章末 |
| 件 名 | BSH:電子線 |
| 分 類 | NDC8:549.1 NDC9:549.1 NDC10:549.1 |
| 書誌ID | 1000234527 |
| ISBN | 9784861632969 |
| NCID | BB26418124 |