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ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング
入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳

データ種別	図書
著者標目	Stuart, R. V. 著 毛利, 衛 <モウリ, マモル> 数坂, 昭夫 <カズサカ, アキオ>
出版者	東京 : 技報堂出版
出版年	1985.10

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