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シリコン カンツウ デンキョク TSV : ハンドウタイ ノ コウキノウカ ギジュツ
シリコン貫通電極TSV : 半導体の高機能化技術 / 傳田精一著

データ種別	図書
著者標目	伝田, 精一(1931-) <デンダ, セイイチ>
出版者	東京 : 東京電機大学出版局
出版年	2011.4

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