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ジツヨウ チョウセイミツ カコウ ト ケイソク ギジュツ : ナノ テクノロジー ノ シンテンカイ ニ ムケテ
実用超精密加工と計測技術 : ナノテクノロジーの新展開に向けて / 超精密産業技術研究会編
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 超精密産業技術研究会 <チョウセイミツ サンギョウ ギジュツ ケンキュウカイ> 中澤, 光男 <ナカザワ ミツオ> |
| 出版者 | 東京 : エヌ・ティー・エス |
| 出版年 | 2003.10 |