ULSI プロセス ギジュツ
ULSIプロセス技術 / 原央編
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17)
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | 原, 央 <ハラ, ヒサシ> |
出版者 | 東京 : 培風館 |
出版年 | 1997.6 |