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チョウ LSI ザイリョウプロセスノキソ
超LSI材料・プロセスの基礎 / 岸野正剛著

データ種別	図書
著者標目	岸野, 正剛 <キシノ, セイゴウ>
出版者	東京 : オーム社
出版年	1987.12

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配架場所	巻　次	請求記号	登録番号	状　態	コメント	ISBN	予約	利用注記
小金井・別置図書室		549.7	50029802			4274031853	予約		予約

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別書名	異なりアクセスタイトル:超LSI材料プロセスの基礎
巻次	ISBN:4274031853 ; PRICE:3500円
大きさ	viii, 226p ; 22cm
本文言語	日本語
一般注記	監修:伊藤良一
件　名	BSH:集積回路 NDLSH:集積回路
分　類	NDC8:549.7 NDC7:549.8
書誌ID	1000046543
ISBN	4274031853
NCID	BN01884879