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シリコン : ケッショウ セイチョウ ト ウエーハ カコウ
シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 / 阿部孝夫著
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 阿部, 孝夫 <アベ, タカオ> |
| 出版者 | 東京 : 培風館 |
| 出版年 | 1994.5 |