シリコン : ケッショウ セイチョウ ト ウエーハ カコウ
シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 / 阿部孝夫著
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5)
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | 阿部, 孝夫 <アベ, タカオ> |
出版者 | 東京 : 培風館 |
出版年 | 1994.5 |
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巻次 | ISBN:4563036056 ; PRICE:5974円 |
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大きさ | xii, 361p ; 22cm |
本文言語 | 日本語 |
一般注記 | 各章末: 参考文献 |
件 名 | NDLSH:結晶成長 NDLSH:電子部品 |
分 類 | NDC8:549.8 |
書誌ID | 1000019226 |
ISBN | 4563036056 |
NCID | BN10742751 |