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ハンドウタイ リッコク ニホン : ドクソウテキ ナ ソウチ ガ キズキアゲタ キロク
「半導体立国」日本 : 独創的な装置が築きあげた記録 / 日本半導体製造装置協会編
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 日本半導体製造装置協会 <ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ> |
| 出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| 出版年 | 1991.11 |
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| 巻次 | ISBN:4526030422 ; PRICE:2000円 |
|---|---|
| 大きさ | xii, 403p ; 20cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 監修: 垂井康夫 |
| 件 名 | BSH:半導体 NDLSH:半導体 |
| 分 類 | NDC8:549.8 |
| 書誌ID | 1000017958 |
| ISBN | 4526030422 |
| NCID | BN07021660 |