Mendeley出力
ハンドウタイ ヒョウカ ギジュツ
半導体評価技術 / 河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆
(集積回路プロセス技術シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 河東田, 隆(1944-) <カトウダ, タカシ> 菅野, 卓雄(1931-) <スガノ, タクオ> 奥村, 次徳 <オクムラ, ツグノリ> |
| 出版者 | 東京 : 産業図書 |
| 出版年 | 1989.2 |
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| 巻次 | ISBN:478285627X ; PRICE:4500円 |
|---|---|
| 大きさ | viii, 330p ; 22cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 件 名 | BSH:半導体 NDLSH:半導体 |
| 分 類 | NDC8:549.8 |
| 書誌ID | 1000014761 |
| ISBN | 478285627X |
| NCID | BN03233656 |