Mendeley出力
ハンドウタイ ヒョウカ ギジュツ
半導体評価技術 / 河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆
(集積回路プロセス技術シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 河東田, 隆(1944-) <カトウダ, タカシ> 菅野, 卓雄(1931-) <スガノ, タクオ> 奥村, 次徳 <オクムラ, ツグノリ> |
| 出版情報 | 東京 : 産業図書 , 1989.2 |