VLSI プロセス ギジュツ : コウブドマリ ノ タメ ノ モンダイテン ト ソノ カイケツ
VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決 / 垂井康夫監修 ; 小林稔, 中島蕃著
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | 小林, 稔(1932-) <コバヤシ, ミノル> 中島, 蕃 <ナカジマ, シゲル> 垂井, 康夫(1929-) <タルイ, ヤスオ> |
出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
出版年 | 1993.6 |
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巻次 | ISBN:4526033383 ; PRICE:2900円 |
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大きさ | iv, 4, 143, 2p ; 22cm |
本文言語 | 日本語 |
件 名 | BSH:集積回路 |
分 類 | NDC8:549.7 NDC7:549.8 |
書誌ID | 1000002443 |
ISBN | 4526033383 |
NCID | BN09282610 |