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チョウビサイ カコウ ノ キソ : デンシ デバイス プロセス ギジュツ
超微細加工の基礎 : 電子デバイスプロセス技術 / 麻蒔立男著
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 麻蒔, 立男(1934-) <アサマキ, タツオ> |
| 出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| 出版年 | 2001.9 |
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| 版 | 第2版 |
|---|---|
| 巻次 | ISBN:4526048127 ; PRICE:3900円 |
| 大きさ | x, 295p ; 21cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 件 名 | BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 |
| 書誌ID | 1000120186 |
| ISBN | 4526048127 |
| NCID | BA53699368 |