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ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
はじめての半導体製造装置 / 前田和夫著
(ビギナーズブックス ; 3)

データ種別 図書
著者標目 前田, 和夫(1935-) <マエダ, カズオ>
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 1999.3

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小金井・閲覧室一般書
549.8 60193597
4769311699

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巻次 ISBN:4769311699 ; PRICE:2000円
大きさ 254p ; 21cm
本文言語 日本語
一般注記 さらに半導体製造装置を学ぶ人のための参考書: p245-247
引用文献および資料: p248-250
件 名 BSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 1000091430
ISBN 4769311699
NCID BA40473169

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