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マイクロ ナノ デンシ ビーム ソウチ ニオケル シンクウ ギジュツ
マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術 / 吉村長光著

データ種別 図書
著者標目 吉村, 長光 <ヨシムラ, ナガミツ>
出版者 東京 : エヌ・ティー・エス
出版年 2003.12

所蔵情報を非表示

小金井・閲覧室一般書
534.93 60515817
4860430395
小金井・別置図書室
534.93 60446176
4860430395
工・機械・岩見健太郎
534.93 60713211
4860430395

書誌詳細を非表示

別書名 異なりアクセスタイトル:マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術
巻次 ISBN:4860430395 ; PRICE:39900円
大きさ 6, 338, 2, 10p : 挿図 ; 26cm
本文言語 日本語
一般注記 監修: 岡野達雄
参考・引用文献: 各章末
件　名 BSH:真空技術
BSH:電子線
NDLSH:真空工学
分　類 NDC9:534.93
NDLC:NB126
書誌ID 1000156071
ISBN 4860430395
NCID BA6508397X

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