VLSI プロセス ギジュツ : コウブドマリ ノ タメ ノ モンダイテン ト ソノ カイケツ
VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決 / 垂井康夫監修 ; 小林稔, 中島蕃著
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | 小林, 稔(1932-) <コバヤシ, ミノル> 中島, 蕃 <ナカジマ, シゲル> 垂井, 康夫(1929-) <タルイ, ヤスオ> |
出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
出版年 | 1993.6 |