Mendeley出力
EUV コウゲン ノ カイハツ ト オウヨウ
EUV光源の開発と応用 / 豊田浩一, 岡崎信次監修
(CMCテクニカルライブラリー ; 450 . エレクトロニクスシリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 豊田, 浩一 <トヨダ, コウイチ> 岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ> |
| 出版者 | 東京 : シーエムシー出版 |
| 出版年 | 2013.3 |
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| 別書名 | 標題紙タイトル:Development and application of extreme ultraviolet light source |
|---|---|
| 版 | 普及版 |
| 巻次 | ISBN:9784781307091 ; PRICE:4400円+税 |
| 大きさ | vi, 273p : 挿図 ; 26cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 「EUV光源の開発と応用」(2007年刊)の普及版 文献: 各章末 |
| 件 名 | BSH:紫外線 BSH:リソグラフィー |
| 分 類 | NDC8:549.95 NDC9:549.95 |
| 書誌ID | 1000220742 |
| ISBN | 9784781307091 |
| NCID | BB12085089 |