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イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSI ノ ユウゴウ
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 / 益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
(新材料・新素材シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 益, 一哉 <マス, カズヤ> 年吉, 洋 <トシヨシ, ヒロシ> 町田, 克之 <マチダ, カツユキ> |
| 出版者 | 東京 : シーエムシー出版 |
| 出版年 | 2012.11 |
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| 別書名 | 標題紙タイトル:Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications 表紙タイトル:High technology information 異なりアクセスタイトル:異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合 |
|---|---|
| 巻次 | ISBN:9784781305868 ; PRICE:68000円+税 |
| 大きさ | ix, 279p ; 27cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 参考文献あり |
| 書誌ID | 1000215425 |
| ISBN | 9784781305868 |
| NCID | BB1082106X |