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シリコン マイクロ カコウ ノ キソ
シリコンマイクロ加工の基礎 / M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン著 ; 田畑修, 佐藤一雄訳

データ種別	図書
著者標目	*Elwenspoek, M. (Miko), 1948- Jansen, H. V. (Henri V.) 田畑, 修 <タバタ, オサム> 佐藤, 一雄(1948-) <サトウ, カズオ>
出版者	東京 : シュプリンガー・フェアラーク東京
出版年	2001.12

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