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チョウセイミツ センジョウ ギジュツ ノ カイハツ
超精密洗浄技術の開発 / 角田光雄監修
(CMC books)

データ種別 図書
著者標目 角田, 光雄 <ツノダ, テルオ>
出版情報 東京 : シーエムシー , 2000.9

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小金井・一般書
576.5 60268418
488231083X

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別書名 標題紙タイトル:Development of ultra precision cleaning technologies
版 普及版
巻次 ISBN:488231083X ; PRICE:3200円
大きさ iv, 247p ; 21cm
本文言語 日本語
一般注記 初版の書名: 超精密洗浄技術
件　名 BSH:洗浄法
分　類 NDC8:576.5
NDC9:576.5
書誌ID 1000100975
ISBN 488231083X
NCID BA48163176

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