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チョウセイミツ センジョウ ギジュツ ノ カイハツ
超精密洗浄技術の開発 / 角田光雄監修
(CMC books)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 角田, 光雄 <ツノダ, テルオ> |
| 出版者 | 東京 : シーエムシー |
| 出版年 | 2000.9 |
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| 別書名 | 標題紙タイトル:Development of ultra precision cleaning technologies |
|---|---|
| 版 | 普及版 |
| 巻次 | ISBN:488231083X ; PRICE:3200円 |
| 大きさ | iv, 247p ; 21cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 初版の書名: 超精密洗浄技術 |
| 件 名 | BSH:洗浄法 |
| 分 類 | NDC8:576.5 NDC9:576.5 |
| 書誌ID | 1000100975 |
| ISBN | 488231083X |
| NCID | BA48163176 |