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プロセス ヒョウカ
プロセス評価 / 西澤潤一編
(半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 17巻 . 超LSI技術 ; 4)

データ種別 図書
著者標目 西澤, 潤一(1926-) <ニシザワ, ジュンイチ>
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 1981.6

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小金井・閲覧室一般書
549.8/HK17 50099013


小金井・別置図書室
549/HK17 60413912


書誌詳細を非表示

巻次 PRICE:12000円
大きさ 12, 446p : 挿図 ; 27cm
本文言語 日本語
一般注記 執筆: 飯塚尚和ほか
件 名 NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549
NDLC:ND371
書誌ID 1000010344
NCID BN00182548

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