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半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術 / 岡崎信次監修

データ種別 図書
著者標目 岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ>
出版者 東京 : エヌ・ティー・エス
出版年 2017.4

所蔵情報を非表示

工・知能情報・鄧明聡
549.7 60923166
9784860434670

書誌詳細を非表示

巻次 ISBN:9784860434670
大きさ ii, x, 382, 12p, 図版vip : 挿図 ; 27cm
本文言語 日本語
一般注記 執筆者: 岡崎信次, 柴崎祐一, 松永隆ほか
文献: 各節末
件　名 BSH:リソグラフィー
BSH:半導体
分　類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
書誌ID 1000240372
ISBN 9784860434670
NCID BB23688949

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