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ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス / 小島啓安著

データ種別 図書
著者標目 小島, 啓安 <コジマ, ヒロヤス>
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 2008.8

所蔵情報を非表示

小金井・別置図書室
549.8 60629415
9784526061196
工・機械・岩見健太郎
549.8 60728478
9784526061196

書誌詳細を非表示

別書名 異なりアクセスタイトル:現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
巻次 ISBN:9784526061196 ; PRICE:3000円+税
大きさ ix, 384p ; 21cm
本文言語 日本語
一般注記 参考文献: p372-380
件　名 BSH:薄膜
分　類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 1000186843
ISBN 9784526061196
NCID BA87015099

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