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デンシセン リソグラフィ キョウホン
電子線リソグラフィ教本 / 秋永広幸編

データ種別 図書
著者標目 秋永, 広幸 <アキナガ, ヒロユキ>
横山, 浩 <ヨコヤマ, ヒロシ>
出版者 東京 : オーム社
出版年 2007.6

所蔵情報を非表示

小金井・閲覧室一般書
549.7 60572425
9784274204159
工・機械・岩見健太郎
549.7 60729040
9784274204159

書誌詳細を非表示

別書名 標題紙タイトル:Electron beam lithography
巻次 ISBN:9784274204159 ; PRICE:3000円+税
大きさ xiii, 210p : 挿図 ; 21cm
本文言語 日本語
一般注記 監修: 横山浩
参考文献: p201-203
件　名 BSH:リソグラフィー
BSH:電子線
分　類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
書誌ID 1000177464
ISBN 9784274204159
NCID BA82476094

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