| 別書名 |
標題紙タイトル:Introduction to vacuum technology for semiconductor
異なりアクセスタイトル:真空技術入門 : 半導体のための : 現場で役立つ基礎と応用 |
| 巻次 |
ISBN:9784769312628 ; PRICE:2300円+税
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| 大きさ |
219p ; 21cm |
| 本文言語 |
日本語 |
| 一般注記 |
参考文献: p213 |
| 件 名 |
BSH:半導体
BSH:真空技術
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| 分 類 |
NDC8:549.8
NDC9:549.8
NDC9:534.93
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| 書誌ID |
1000175755 |
| ISBN |
9784769312628 |
| NCID |
BA80963210
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