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ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
(ビギナーズブックス ; 29)

データ種別 図書
著者標目 岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ>
鈴木, 章義 <スズキ, アキヨシ>
上野, 巧 <ウエノ, タクミ>
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 2003.6

所蔵情報を非表示

小金井・閲覧室一般書
549.8 60419651
4769312245
小金井・別置図書室
549.8 60453346
4769312245

書誌詳細を非表示

巻次 ISBN:4769312245 ; PRICE:2400円
大きさ 305p : 挿図 ; 21cm
本文言語 日本語
件　名 BSH:リソグラフィー
BSH:半導体
分　類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
書誌ID 1000141787
ISBN 4769312245
NCID BA62674459

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