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チョウ LSI レジスト ノ ブンシ セッケイ
超LSIレジストの分子設計 / 津田穣著
(表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編 ; 11)

データ種別 図書
著者標目 津田, 穣(1935-) <ツダ, ミノル>
出版者 東京 : 共立出版
出版年 1990.4

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小金井・閲覧室一般書
549.7 50056226
4320085116

書誌詳細を非表示

巻次 ISBN:4320085116 ; PRICE:1360円
大きさ v, 117p ; 19cm
本文言語 日本語
一般注記 文献: p[110]-113
件 名 BSH:集積回路
BSH:工業材料
BSH:薄膜
NDLSH:感光性樹脂
NDLSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDC8:578.4
NDC7:549.8
NDLC:PA441
書誌ID 1000043274
ISBN 4320085116
NCID BN04656779

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