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ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 日本半導体製造装置協会 <ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ> |
| 出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| 出版年 | 2000.11 |
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| 別書名 | 標題紙タイトル:Terminological dictionary of semiconductor equipment |
|---|---|
| 版 | 第5版 |
| 巻次 | ISBN:4526046663 ; PRICE:4700円+税 |
| 大きさ | xiv, 588p ; 22cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 件 名 | BSH:半導体 NDLSH:半導体 -- 辞書 全ての件名で検索 |
| 分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 NDLC:ND2 NDLC:ND371 |
| 書誌ID | 1000123649 |
| ISBN | 4526046663 |
| NCID | BA49490746 |