Design and Manufacturing of Active Microsystems / edited by Stephanus Büttgenbach, Arne Burisch, Jürgen Hesselbach
(Microtechnology and MEMS)
データ種別 | 電子ブック |
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著者標目 | *Büttgenbach, Stephanus Burisch, Arne Hesselbach, Jürgen SpringerLink (Online service) |
出版者 | Berlin, Heidelberg : Springer-Verlag Berlin Heidelberg |
出版年 | 2011 |
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巻次 | ISBN:9783642129032 |
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大きさ | v.: digital |
本文言語 | 英語 |
件 名 | LCSH:Engineering LCSH:Structural control (Engineering) LCSH:Nanotechnology FREE:Engineering FREE:Nanotechnology and Microengineering FREE:Mechatronics FREE:Operating Procedures, Materials Treatment FREE:Nanotechnology |
書誌ID | OB00001910 |
ISBN | 9783642129032 |
NCID | LB40004586 |